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HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。該控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數(shù)字式質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快...

S600 BR212/BR222氣體質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用...

SEC-Z700X系列壓力補償質量流量控制器配備了可靠的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。

SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

SEC-8000F/D/E 系列高溫數(shù)字式質量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作，用于半導體和化合物半導體加工在內(nèi)的各種工作任務。

HORIBA S48系列氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場合，兼具高精度、快速響應和高穩(wěn)定性，廣泛應...

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生...

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產(chǎn)、...

SEC-E 系列數(shù)字質量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質量流量控制器可用于各種行業(yè)。

S600系列數(shù)字質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，即模擬、RS485...

壓差式質量流量控制器 D500這款技術優(yōu)良的質量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅動閥。 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導體制程，具有壓力補...

HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質量流量控制器，專為半導體及相關行業(yè)中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。

D700T是為關鍵半導體制造工藝設計的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術，以提供行...

新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復...